Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов Учеб. для вузов по спец. "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектрон. приборы" - Таиров Ю.М., Цветков В.Ф (Высш. шк, 1983)