Броудай И., М. Д. (1985). Физические основы микротехнологии. Мир.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. М: Мир, 1985.
Цитирование MLA (8-е изд.)Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. Мир, 1985.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.