Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем Учеб. пособие для техн. уч-щ
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
М
Высш.шк.
1985
|
| Редактирование: | 2-е изд., перераб. и доп. |
| Предметы: |
МУҮНомын сан салбар: UB0100000117
| Шифр: |
49047 |
|---|---|
| Копировать Unknown | Доступно Поместить задолженность |
МУҮНомын сан төв байр: UB0100000104
| Шифр: |
49048 |
|---|---|
| Копировать Unknown | Доступно Поместить задолженность |