Распыление твердых тел ионной бомбардировкой = Sputtering by Particle Bombardment Физическое распыление одноэлементных твердых тел
| Format: | Book |
|---|---|
| Language: | Russian |
| Published: |
М
Мир
1984
|
| Subjects: |
| Physical Description: | 336с |
|---|