Распыление твердых тел ионной бомбардировкой = Sputtering by Particle Bombardment Физическое распыление одноэлементных твердых тел

Библиографические подробности
Формат:	‌
Язык:	Russian
Опубликовано:	М Мир 1984
Предметы:	Байгалийн шинжлэх ухаан > Математик

Описание
Объем:	336с

Схожие документы