Распыление твердых тел ионной бомбардировкой = Sputtering by Particle Bombardment Физическое распыление одноэлементных твердых тел

Библиографические подробности
Формат:
Язык:Russian
Опубликовано: М Мир 1984
Предметы:

MARC

LEADER 00000nam a2200000Ia 4500
003 MN-UlNLM
005 20220128150655.0
008 200512t1984||||rur|||||||||||||| ||rus||
016 3 9
040 |a Монгол Улсын Үндэсний номын сан 
084 |a 22.333  |b Р 24  |2 NNA  |q 2 
245 1 |a Распыление твердых тел ионной бомбардировкой = Sputtering by Particle Bombardment  |b Физическое распыление одноэлементных твердых тел  |c Ред. Р.Бериша 
260 1 |c 1984  |a М  |b Мир 
300 |a 336с 
546 |a Russia 
653 |a Байгалийн шинжлэх ухаан  |a Математик 
942 |c BK 
952 |0 0  |1 0  |2 NNA  |4 0  |6 63127  |7 0  |9 353224  |a URNU  |b URNU  |c 2  |d 2021-07-27  |e Khudaldaa  |g 18.50  |l 0  |o 63127  |p 005020063127  |r 2021-07-27  |w 2020-05-12  |y BK 
999 |c 181686  |d 181743