Распыление твердых тел ионной бомбардировкой = Sputtering by Particle Bombardment II
Формат: | |
---|---|
Язык: | Russian |
Опубликовано: |
М
Мир
1986
|
Серии: | Распыление сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности
Вып.2 |
Предметы: |
Объем: | 488с |
---|