Распыление твердых тел ионной бомбардировкой = Sputtering by Particle Bombardment II

Библиографические подробности
Формат:
Язык:Russian
Опубликовано: М Мир 1986
Серии:Распыление сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности Вып.2
Предметы: