Распыление твердых тел ионной бомбардировкой = Sputtering by Particle Bombardment II
Format: | Book |
---|---|
Language: | Russian |
Published: |
М
Мир
1986
|
Series: | Распыление сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности
Вып.2 |
Subjects: |
Physical Description: | 488с |
---|