Блинов И.Г., К. Л. (1986). Оборудование полупроводникового производства: Учебное пособие для приборостроительных специальных вузов. Машиностроение.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства: Учебное пособие для приборостроительных специальных вузов. М: Машиностроение, 1986.
Цитирование MLA (8-е изд.)Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства: Учебное пособие для приборостроительных специальных вузов. Машиностроение, 1986.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.