Оборудование полупроводникового производства Учебное пособие для приборостроительных специальных вузов
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
М
Машиностроение
1986
|
| Предметы: |
| Объем: | 262с |
|---|