APA (7th ed.) Citation

Блинов И.Г., К. Л. (1986). Оборудование полупроводникового производства: Учебное пособие для приборостроительных специальных вузов. Машиностроение.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства: Учебное пособие для приборостроительных специальных вузов. М: Машиностроение, 1986.

MLA (8th ed.) Citation

Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства: Учебное пособие для приборостроительных специальных вузов. Машиностроение, 1986.