APA Баримт

Блинов И.Г., К. Л. (1986). Оборудование полупроводникового производства: Учебное пособие для приборостроительных специальных вузов. Машиностроение.

Чикаго маягийн жагсаалт

Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства: Учебное пособие для приборостроительных специальных вузов. М: Машиностроение, 1986.

MLA ишлэл

Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства: Учебное пособие для приборостроительных специальных вузов. Машиностроение, 1986.