Применение низкотемпературной плазмы для травление очистики материалов

Применение низкотемпературной плазмы для травление очистики материалов

Номзүйн дэлгэрэнгүй
Үндсэн зохиолч:	Данилин Б.С., Киреев В.Ю
Формат:	Ном
Хэл сонгох:	Russian
Хэвлэсэн:	М Энергоатомиздат 1987
Нөхцлүүд:	Техникийн шинжлэх ухаан

Тодорхойлолт
Биет тодорхойлолт:	264с