Применение низкотемпературной плазмы для травление очистики материалов

Применение низкотемпературной плазмы для травление очистики материалов

Библиографические подробности
Главный автор:	Данилин Б.С., Киреев В.Ю
Формат:	‌
Язык:	Russian
Опубликовано:	М Энергоатомиздат 1987
Предметы:	Техникийн шинжлэх ухаан