Применение низкотемпературной плазмы для травление очистики материалов
Main Author: | Данилин Б.С., Киреев В.Ю |
---|---|
Format: | Book |
Language: | Russian |
Published: |
М
Энергоатомиздат
1987
|
Subjects: |
Similar Items
-
Ионное травление микроструктур
by: Данилин Б.С., Киреев В.Ю
Published: (1979) -
Генераторы низкотемпературной плазмы
Published: (1969) -
Генераторы низкотемпературной плазмы Труды III Всесоюз. науч.-техн. конференции по генераторам низкотемпературной плазмы
Published: (1971) -
Вопросы физики низкотемпературной плазмы
Published: (1970) -
Вопросы физики низкотемпературной плазмы
Published: (1970)