(1987). Проблемы литографии в микроэлектронике. Наука.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Проблемы литографии в микроэлектронике. М: Наука, 1987.
Цитирование MLA (8-е изд.)Проблемы литографии в микроэлектронике. Наука, 1987.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.