APA Баримт

Бубенников А.Н. (1989). Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем: Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники. Высш. шк.

Чикаго маягийн жагсаалт

Бубенников А.Н. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем: Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники. М: Высш. шк, 1989.

MLA ишлэл

Бубенников А.Н. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем: Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники. Высш. шк, 1989.