Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | Undetermined |
| Опубликовано: |
М
Высш. шк.
1989
|
| Объем: | 320 |
|---|---|
| ISBN: | 5-06-000123-7 |