Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Undetermined |
| Published: |
М
Высш. шк.
1989
|
| Physical Description: | 320 |
|---|---|
| ISBN: | 5-06-000123-7 |