Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы Учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 0658 "Пр-во микроэлектрон. устройств"
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М
Радио и связь
1988
|
| Subjects: |
| Physical Description: | 320c |
|---|---|
| ISBN: | 5-256-00062-4 |