Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы Учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 0658 "Пр-во микроэлектрон. устройств"
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
М
Радио и связь
1988
|
| Предметы: |
| Объем: | 320c |
|---|---|
| ISBN: | 5-256-00062-4 |