Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы Учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 0658 "Пр-во микроэлектрон. устройств"

Библиографические подробности
Главный автор: Панфилов Ю.В. и др
Другие авторы: Ю.В.Панфилов, В.Т.Рябов, Ю.Б.Цветков
Формат:
Язык:Russian
Опубликовано: М Радио и связь 1988
Предметы:

Схожие документы