Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов

Библиографические подробности
Главный автор:	Александров В.К
Соавтор:	АН Белорусской ССР институт электроники
Другие авторы:	В.К.Александров, Ю.Н.Биенко, В.Н.Ильин
Формат:	‌
Язык:	Russian
Опубликовано:	М Наука и техника 1988
Предметы:	Техник, техникийн шинжлэх ухаан > Техник

Описание
Объем:	240c
ISBN:	5-343-00264-1

Схожие документы