Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М
Наука и техника
1988
|
| Subjects: |
| Physical Description: | 240c |
|---|---|
| ISBN: | 5-343-00264-1 |