Тр. Ин-та общ. физики / АН СССР. (1988). Технологические проблемы микроэлектроники. Наука.
Чикаго маягийн жагсаалтТр. Ин-та общ. физики / АН СССР. Технологические проблемы микроэлектроники. Москва: Наука, 1988.
MLA ишлэлТр. Ин-та общ. физики / АН СССР. Технологические проблемы микроэлектроники. Наука, 1988.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.