Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники в 10 кн.
| Формат: | |
|---|---|
| Язык: | Undetermined |
| Опубликовано: |
М
Высш. шк.
1990
|
| Серии: | Элионная обработка
Кн. 7 |
| Объем: | 130 |
|---|---|
| ISBN: | 5-06-001079-1 |