Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | |
| Язык: | Undetermined |
| Опубликовано: |
М
Наука
1988
|
| Объем: | 176 |
|---|---|
| ISBN: | 5-02-013845-2 |