Моро У. (1990). Микролитография: Принципы, методы, материалы : В 2 ч. Мир.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Моро У. Микролитография: Принципы, методы, материалы : В 2 ч. М: Мир, 1990.
Цитирование MLA (8-е изд.)Моро У. Микролитография: Принципы, методы, материалы : В 2 ч. Мир, 1990.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.