Микролитография Принципы, методы, материалы : В 2 ч.
Үндсэн зохиолч: | |
---|---|
Формат: | Ном |
Хэл сонгох: | Undetermined |
Хэвлэсэн: |
М
Мир
1990
|
Биет тодорхойлолт: | 606 |
---|---|
ISBN: | 5-03-001716-X |
Үндсэн зохиолч: | |
---|---|
Формат: | Ном |
Хэл сонгох: | Undetermined |
Хэвлэсэн: |
М
Мир
1990
|
Биет тодорхойлолт: | 606 |
---|---|
ISBN: | 5-03-001716-X |