Микролитография Принципы, методы, материалы : В 2 ч.

Номзүйн дэлгэрэнгүй
Үндсэн зохиолч: Моро У.
Формат: Ном
Хэл сонгох:Undetermined
Хэвлэсэн: М Мир 1990