|
|
|
|
| LEADER |
00000nam a2200000Ia 4500 |
| 008 |
200515s9999||||xx |||||||||||||| ||und|| |
| 016 |
3 |
9 |
|
| 020 |
|
|
|a 5-03-001716-X
|
| 084 |
|
|
|a 32.85
|b М 80
|2 NNA
|
| 100 |
|
|
|a Моро У.
|
| 245 |
|
0 |
|a Микролитография
|b Принципы, методы, материалы : В 2 ч.
|c Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова; Предисл. К.А. Валиева
|
| 260 |
|
|
|c 1990
|a М
|b Мир
|
| 300 |
|
|
|a 606
|
| 490 |
|
|
|v Ч.1
|
| 546 |
|
|
|a Орос
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|2 NNA
|4 0
|6 141612
|7 0
|8 Ч.1
|9 416687
|a URNU
|b URNU
|c 2
|d 2021-07-23
|e Khudaldaa
|g 22.50
|l 0
|o 141612
|p 005020141612
|r 2021-07-23
|w 2020-05-15
|y BK
|
| 999 |
|
|
|c 243496
|d 243553
|
