|
|
|
|
| LEADER |
00000nam a2200000Ia 4500 |
| 008 |
200518s9999||||xx |||||||||||||| ||und|| |
| 016 |
3 |
9 |
|
| 020 |
|
|
|a 5-02-000828-1
|
| 084 |
|
|
|a 30.1
|b И 71
|2 NNA
|
| 110 |
|
|
|a РАН
|
| 245 |
|
0 |
|a Проблемы линейных измерий микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах
|c Ред. А.В.Раков
|
| 260 |
|
|
|c 1995
|a М
|b Наука
|
| 300 |
|
|
|a 165
|
| 490 |
|
|
|x 0233-9390
|
| 546 |
|
|
|a Орос
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|2 NNA
|4 0
|6 153566
|7 0
|9 428383
|a URNU
|b URNU
|c 2
|d 2021-08-10
|e Khudaldaa
|g 450.00
|l 0
|o 153566
|p 005020153566
|r 2021-08-10
|w 2020-05-18
|y BK
|
| 999 |
|
|
|c 254824
|d 254881
|
