Плешивцев Н.В. (1968). Катодное распыление. Атомиздат.
Chicago Style (17th ed.) CitationПлешивцев Н.В. Катодное распыление. М: Атомиздат, 1968.
MLA (8th ed.) CitationПлешивцев Н.В. Катодное распыление. Атомиздат, 1968.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.