APA Баримт

Моряков О.С. (1974). Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: Учеб. пособие для проф.-техн. учеб. заведений. Высшая шк.

Чикаго маягийн жагсаалт

Моряков О.С. Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: Учеб. пособие для проф.-техн. учеб. заведений. Москва: Высшая шк, 1974.

MLA ишлэл

Моряков О.С. Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: Учеб. пособие для проф.-техн. учеб. заведений. Высшая шк, 1974.