|
|
|
|
| LEADER |
00000nam a2200000Ia 4500 |
| 008 |
201109s9999||||xx |||||||||||||| ||und|| |
| 016 |
3 |
9 |
|
| 084 |
|
|
|a 666
|b М 809
|2 10-t
|
| 100 |
|
|
|a Моряков О.С.
|
| 245 |
|
0 |
|a Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве
|b Учеб. пособие для проф.-техн. учеб. заведений
|
| 260 |
|
|
|c 1974
|a Москва
|b Высшая шк.
|
| 300 |
|
|
|a 141
|
| 546 |
|
|
|a Орос
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|2 10-t
|4 0
|6 401407
|7 0
|9 693677
|a URNU
|b URNU
|c 0
|d 2020-11-09
|e Soliltsoo
|g 1.15
|l 0
|o 401407
|p 005000401407
|r 2023-03-23
|w 2020-11-09
|y BK
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|2 10-t
|4 0
|6 401408
|7 0
|9 857974
|a URNU
|b URNU
|c 0
|d 2021-01-14
|e Soliltsoo
|g 1.15
|l 0
|o 401408
|p 005000401408
|r 2023-03-23
|w 2021-01-14
|y BK
|
| 999 |
|
|
|c 483512
|d 483569
|