Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем

Библиографические подробности
Главный автор: Голото И.Д и др
Другие авторы: И. Д. Голото, Б. П. Докучаев, Г. Д. Колмогоров
Формат:
Язык:Russian
Опубликовано: М Энергия 1975
Предметы:

Схожие документы