Данилин Б.С. (1977). Получение тонкопленочных элементов микросхем. Энергия.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Данилин Б.С. Получение тонкопленочных элементов микросхем. М: Энергия, 1977.
Цитирование MLA (8-е изд.)Данилин Б.С. Получение тонкопленочных элементов микросхем. Энергия, 1977.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.