Получение тонкопленочных элементов микросхем

Библиографические подробности
Главный автор: Данилин Б.С
Соавтор: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
Формат:
Язык:Russian
Опубликовано: М Энергия 1977
Предметы: