Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок

Библиографические подробности
Соавтор:	АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии
Формат:	‌
Язык:	Russian
Опубликовано:	Новосибирск Наука 1977
Предметы:	Техникийн шинжлэх ухаан > машин судлал > машин үйлдвэрлэл

Опубликовано 1977

‌

Схожие документы