Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Main Author: | |
---|---|
Format: | Book |
Language: | Russian |
Published: |
М
Энергия
1979
|
Subjects: |
Physical Description: | 88c |
---|
Main Author: | |
---|---|
Format: | Book |
Language: | Russian |
Published: |
М
Энергия
1979
|
Subjects: |
Physical Description: | 88c |
---|