Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

Библиографические подробности
Главный автор: Папков В.С., Цыбульников М.Б
Формат:
Язык:Russian
Опубликовано: М Энергия 1979
Предметы:

MARC

LEADER 00000nam a2200000Ia 4500
003 MN-UlNLM
005 20220812164759.0
008 201216t1979||||rur|||||||||||||| ||rus||
016 3 9
040 |a Монгол Улсын Үндэсний номын сан 
041 |a RUS 
084 |a 621.3  |b П 174  |2 10-t  |q 3 
100 1 |a Папков В.С., Цыбульников М.Б 
245 0 |a Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе 
260 1 |c 1979  |a М  |b Энергия 
300 |a 88c 
546 |a Russia 
653 |a Машин судлал   |a Машин үйлдвэрлэл эрчим хүч  |a Төмөрлөгийн үйлдвэрлэл 
856 |a printbook 
942 |c BK 
952 |0 0  |1 0  |2 10-t  |4 0  |6 456059  |7 0  |9 732238  |a URNU  |b URNU  |c 0  |d 2020-12-18  |e Soliltsoo  |g 1.25  |l 0  |o 456059  |p 005000456059  |r 2023-03-28  |w 2020-12-18  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |2 10-t  |4 0  |6 456058  |7 0  |9 882579  |a URNU  |b URNU  |c 0  |d 2021-01-21  |e Soliltsoo  |g 1.25  |l 0  |o 456058  |p 005000456058  |r 2023-03-28  |w 2021-01-21  |y BK 
999 |c 520053  |d 520110