APA Баримт

Моряков О.С. (1980). Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ (2.). Высш.школа.

Чикаго маягийн жагсаалт

Моряков О.С. Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ. 2. М: Высш.школа, 1980.

MLA ишлэл

Моряков О.С. Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ. 2. Высш.школа, 1980.