Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы)
Формат: | |
---|---|
Язык: | Undetermined |
Опубликовано: |
Минск
Изд-во БГУ
1980
|
Объем: | 347 |
---|
Формат: | |
---|---|
Язык: | Undetermined |
Опубликовано: |
Минск
Изд-во БГУ
1980
|
Объем: | 347 |
---|