Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы)
| Format: | Book |
|---|---|
| Language: | Undetermined |
| Published: |
Минск
Изд-во БГУ
1980
|
| Physical Description: | 347 |
|---|