|
|
|
|
| LEADER |
00000nam a2200000Ia 4500 |
| 008 |
210105s9999||||xx |||||||||||||| ||und|| |
| 016 |
3 |
9 |
|
| 084 |
|
|
|a 537
|b Т 124
|2 10-t
|
| 245 |
|
0 |
|a Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей
|b (Теория, метод расчета, таблицы)
|c А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин
|
| 260 |
|
|
|c 1980
|a Минск
|b Изд-во БГУ
|
| 300 |
|
|
|a 347
|
| 546 |
|
|
|a Орос
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|2 10-t
|4 0
|6 505746
|7 0
|9 788434
|a URNU
|b URNU
|c 0
|d 2021-01-05
|e Soliltsoo
|g 13.50
|l 0
|o 505746
|p 005000505746
|r 2023-04-27
|w 2021-01-05
|y BK
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|2 10-t
|4 0
|6 505747
|7 0
|9 873892
|a URNU
|b URNU
|c 0
|d 2021-01-19
|e Soliltsoo
|g 13.50
|l 0
|o 505747
|p 005000505747
|r 2023-04-27
|w 2021-01-19
|y BK
|
| 999 |
|
|
|c 551012
|d 551069
|