Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы)
| Формат: | |
|---|---|
| Язык: | Undetermined |
| Опубликовано: |
Минск
Изд-во БГУ
1980
|
| Формат: | |
|---|---|
| Язык: | Undetermined |
| Опубликовано: |
Минск
Изд-во БГУ
1980
|