Современные проблемы эллипсометрии

Номзүйн дэлгэрэнгүй
Байгууллагын зохиогч: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
Формат: Ном
Хэл сонгох:Undetermined
Хэвлэсэн: Новосибирск Наука 1980

MARC

LEADER 00000nam a2200000Ia 4500
008 210105s9999||||xx |||||||||||||| ||und||
016 3 9
084 |a 537  |b С 568  |2 10-t 
110 |a АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников 
245 0 |a Современные проблемы эллипсометрии  |c Отв. ред. А.В. Ржанов 
260 |c 1980  |a Новосибирск  |b Наука 
300 |a 192 
546 |a Орос 
942 |c BK 
952 |0 0  |1 0  |2 10-t  |4 0  |6 513106  |7 0  |9 792837  |a URNU  |b URNU  |c 0  |d 2021-01-05  |e Soliltsoo  |g 12.00  |l 0  |o 513106  |p 005000513106  |r 2023-04-27  |w 2021-01-05  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |2 10-t  |4 0  |6 513107  |7 0  |9 882810  |a URNU  |b URNU  |c 0  |d 2021-01-21  |e Soliltsoo  |g 12.00  |l 0  |o 513107  |p 005000513107  |r 2023-04-27  |w 2021-01-21  |y BK 
999 |c 555398  |d 555455