Легирование полупроводников методом ядерных реакций

Библиографические подробности
Соавтор: АН СССР
Формат:
Язык:Undetermined
Опубликовано: М Наука 1981

MARC

LEADER 00000nam a2200000Ia 4500
008 210105s9999||||xx |||||||||||||| ||und||
016 3 9
084 |a 531  |b Л 385  |2 10-t 
110 |a АН СССР 
245 0 |a Легирование полупроводников методом ядерных реакций 
260 |c 1981  |a М  |b Наука 
300 |a 175 
546 |a Орос 
942 |c BK 
952 |0 0  |1 0  |2 10-t  |4 0  |6 519046  |7 0  |9 796537  |a URNU  |b URNU  |c 0  |d 2021-01-05  |e Soliltsoo  |g 9.50  |l 0  |o 519046  |p 005000519046  |r 2023-04-26  |w 2021-01-05  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |2 10-t  |4 0  |6 519047  |7 0  |9 884333  |a URNU  |b URNU  |c 0  |d 2021-01-22  |e Soliltsoo  |g 9.50  |l 0  |o 519047  |p 005000519047  |r 2023-04-26  |w 2021-01-22  |y BK 
999 |c 559089  |d 559146