(1981). Оборудование полупроводникового производства. Радио и связь.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Оборудование полупроводникового производства. М: Радио и связь, 1981.
Цитирование MLA (8-е изд.)Оборудование полупроводникового производства. Радио и связь, 1981.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.