Электронолитография

Электронолитография

Библиографические подробности
Главный автор:	Васичев Б.Н
Соавтор:	Говое жизни, науке, технике
Формат:	‌
Язык:	Russian
Опубликовано:	М Знание 1982
Предметы:	Техникийн шинжлэх ухаан

Описание
Объем:	64с