Электронолитография

Библиографические подробности
Главный автор: Васичев Б.Н
Соавтор: Говое жизни, науке, технике
Формат:
Язык:Russian
Опубликовано: М Знание 1982
Предметы:

MARC

LEADER 00000nam a2200000Ia 4500
003 MN-UlNLM
005 20220615150741.0
008 210105t1982||||rur|||||||||||||| ||rus||
016 3 9
040 |a Монгол Улсын Үндэсний номын сан 
041 |a rus 
084 |a 621.3  |b В 195  |2 10-t  |q 3 
100 1 |a Васичев Б.Н 
110 |a Говое жизни, науке, технике 
245 0 |a Электронолитография  |c Ред. Б.М. Васильев 
260 1 |c 1982  |a М  |b Знание 
300 |a 64с 
546 |a Russia 
653 |a Техникийн шинжлэх ухаан 
856 |a printbook 
942 |c BK 
952 |0 0  |1 0  |2 10-t  |4 0  |6 541482  |7 0  |9 815708  |a URNU  |b URNU  |c 0  |d 2021-01-07  |e Soliltsoo  |g 0.55  |l 0  |o 541482  |p 005000541482  |r 2023-03-27  |w 2021-01-07  |y BK 
999 |c 572786  |d 572843